Подготовка воды для микроэлектроники

Подготовка воды для микроэлектроники

Установка подготовки воды для электронной промышленности обеспечивает очистку до норм качества воды марки А (18 МОм), воды марки Б (17 МОм), воды марки В (5 МОм)

Купить установку - tks@tekkos.ru

  • Механическая и сорбционная фильтрация
  • Ионообменный фильтр
  • Блок корректировки рH
  • Двухступенчатый обратный осмос
  • Катионообменная и анионообменная фильтрация
  • Фильтр органопоглотитель
  • Фильтры смешанного действия
  • Фильтр механической очистки

Модели установок подготовки воды марки А

Наимен-ование Производ-ительность , 
м3/ч
Удельные затраты 
электро-энергии, 
кВт/м3  
Установ-ленная 
мощность, 
кВт
Занима-емая площадь, 
м2  
ВМ-Электрон-1А 0,8-1,2 1,8 6 18
ВМ-Электрон-2А 1,2-2,5 1,7 9 23
ВМ-Электрон-3А 2,5-4 1,6 14 27
ВМ-Электрон-5А 4-7,5 1,5 16 32
ВМ-Электрон-10А 7,5-12 1,4 23 38

Базовая комплектация

Базовая комплектация Технические характеристики
Установка напорной механической фильтрации
  • Сварная конструкция из профильной трубы (нержавеющая сталь AISI 304)
  • Корпуса фильтров – стеклопластик
  • Трубопроводная обвязка – ПВХ
  • Управляющий клапан
Установка напорной сорбционной фильтрации
  • Сварная конструкция из профильной трубы (нержавеющая сталь AISI 304)
  • Корпуса фильтров – стеклопластик
  • Трубопроводная обвязка – ПВХ
  • Управляющий клапан
Ионообменный фильтр
  • Сварная конструкция из профильной трубы (нержавеющая сталь AISI 304)
  • Корпуса фильтров – стеклопластик
  • Трубопроводная обвязка – ПВХ
  • Управляющий клапан
Реагентный блок корректировки рH
  • Сварная конструкция из профильной трубы (нержавеющая сталь AISI 304)
  • 1 емкость из ПНД
  • 1 насос-дозатор с контроллером и датчиком рH
  • Арматура с ручным приводом
  • Комплект КИП
Блок накопления и раздачи
  • Сварная конструкция из профильной трубы (нержавеющая сталь AISI 304)
  • 1 емкость из ПНД
  • Насос
  • Арматура с ручным приводом
  • Комплект КИП
Установка обратного осмоса
  • Сварная конструкция из профильной трубы (нержавеющая сталь AISI 304)
  • Композитный корпус 300 PSI
  • Стандартные элементы 8040
  • Вертикальный многоступенчатый насос высокого давления
  • Трубопроводная обвязка – ПВХ и нержавеющая сталь AISI 304
  • Блок фильтров тонкой механической очистки
  • Электроприводная отсечная арматура
  • Блок химической мойки
  • Гидравлическая промывка
  • Комплект КИП
Установка обратного осмоса (вторая ступень)
  • Сварная конструкция из профильной трубы (нержавеющая сталь AISI 304)
  • Композитный корпус 300 PSI
  • Стандартные элементы 8040
  • Вертикальный многоступенчатый насос высокого давления
  • Трубопроводная обвязка – ПВХ и нержавеющая сталь AISI 304
  • Блок фильтров тонкой механической очистки
  • Электроприводная отсечная арматура
  • Блок химической мойки
  • Гидравлическая промывка
  • Комплект КИП
Установка напорной катионообменной фильтрации
  • Сварная конструкция из профильной трубы (нержавеющая сталь AISI 304)
  • Корпуса фильтров – стеклопластик
  • Трубопроводная обвязка – РРН
  • Управляющий клапан
Установка напорной анионообменной фильтрации
  • Сварная конструкция из профильной трубы (нержавеющая сталь AISI 304)
  • Корпуса фильтров – стеклопластик
  • Трубопроводная обвязка – РРН
  • Управляющий клапан
Блок накопления и раздачи
  • Сварная конструкция из профильной трубы (нержавеющая сталь AISI 304)
  • 1 емкость из ПНД
  • 1 насос
  • Арматура с ручным приводом
  • Комплект КИП
Установка ультрафиолетового обеззараживания
  • Сварная конструкция из профильной трубы (нержавеющая сталь AISI 304)
  • Блок ламп ультрафиолетового облучения 
  • Проточная часть - сталь AISI 316
Фильтры органопоглатитель
  • Сварная конструкция из профильной трубы (нержавеющая сталь AISI 304)
  • Корпуса фильтров – стеклопластик
  • Трубопроводная обвязка – РРН
  • Управляющий клапан
Фильтры смешанного действия
  • Сварная конструкция из профильной трубы (нержавеющая сталь AISI 304)
  • Корпуса фильтров – стеклопластик
  • Трубопроводная обвязка – РРН
  • Управляющий клапан
Фильтр тонкой механической очистки
  • Патронный мембранный фильтр с рейтингом фильтрации - 0,22 мкм 

Опции

Наименование Преимущества
Установка электродеонизации Безреагентная деминерализация. Эквивалентная замена второй ступени осмоса и последующих ионообменных фильтров. Снижает эксплуатационные затраты.
Установка дегазации Повышает эффективность работы установки электродеонизации за счет снижения концентрации растворенных газов. Применяется для воды с высоким содержанием растворенных газов.
Насосная станция Регулирование заданного расхода (давления)
Электронные расходомеры Возможность дистанционной передачи данных о расходе
Регулирующие электроприводные клапана Возможность автоматического управления расходом или давлением технологических потоков
Блок подачи ингибитора Предотвращает образование крупнозернистых солей жесткости, засоряющих поверхность мембран
Анализатор органического углерода Возможность дистанционной передачи данных о качестве воды 

Эффективность установки

Показатель качества воды  Исходная вода На выходе из ВМ-Электрон (не более)
Эквивалентная проводимость, мкСм/см   <  5 000  0,056 
Перманганатная окисляемость, мгО₂/л  < 10 0,2 
Кремниевая кислота (по SiO3), мг/дм3  < 15 0,01
Железо, мг/дм3 < 0,3 0,002
Медь, мг/дм3 < 0,5 0,002
Содержание микрочастиц (1-5мкм), шт/мл   --- 2
Содержание микроорганизмов, колоний/мл   --- 1
Минимальный размер частиц, мкм < 500 1

Принцип работы

Напорная механическая фильтрация. Исходная вода подается на установку напорной фильтрации с песчаной загрузкой. Здесь удаляются взвешенные вещества и окисленные металлы. Для регенерации фильтрующей загрузки предусмотрена обратноточная промывка очищенной водой. Промывные воды от напорных фильтров направляются на утилизацию.

Напорная сорбционная фильтрация. Осветленная вода подается на установку напорной фильтрации с угольной загрузкой. Здесь снижается количество органических загрязнений и поглощаются окислители (озон, активный хлор). Для регенерации фильтрующей загрузки предусмотрена обратноточная промывка очищенной водой. Промывные воды от напорных фильтров направляются на утилизацию.

Ионообменная фильтрация. Очищенная вода подается на ионообменный фильтр. Фильтрующий слой (катионообменная смола в натрий-форме) обеспечивает очистку воды от ионов жесткости - кальция и магния, заменяя их на натрий.

Корректировка pH. В умягченный фильтрат ионообменных фильтров подается щелочной реагент, который обеспечивает получение заданного значения pH. Интенсивное и полное смешение реагентов с водой и необходимое время контакта обеспечивает трубный флокулятор со встроенными статическими смесителями.

Мембранная очистка (1 ступень). Осветленная и умягченная вода поступает в блок накопления и раздачи, откуда насосом подаётся на фильтры тонкой механической очистки. Здесь происходит удаление взвешенных частиц размером более 5 мкм. Высоконапорный насос подает воду с расчетным давлением на мембранные аппараты. Контроль рабочего давления осуществляется датчиками давления. В аппаратах установки происходит разделение очищаемой воды на очищенную от минеральных солей - фильтрат, и на концентрат с повышенным содержанием солей. Объемные потоки фильтрата и концентрата фиксируются ротаметрами. Для снижения загрязнения мембран предусмотрен периодический гидродинамический смыв и химическая мойка.

Мембранная очистка (2 ступень). Фильтрат первой ступени поступает на повышающий насос второй ступени. В аппаратах установки происходит максимальное обессоливание. 
Концентрат второй ступени возвращается на вход насоса первой ступени по линии рециркуляции для уменьшения затрат исходной воды и создания оптимальной скорости потока.

Напорная катионообменная фильтрация. Фильтрат второй ступени под остаточным давлением поступает в катионообменный фильтр, где происходит удаление микропримесей щелочных металлов.

Напорная анионообменная фильтрация. Фильтрат катионообменного фильтра подается в анионообменный фильтр, где удаляются микропримеси минеральных кислот и углекислый газ. Очищенная вода  с сопротивлением не менее 5 МОм·см подается на блок накопления и раздачи, откуда поступает на установку ультрафиолетового обеззараживания, где предотвращается рост микрофлоры. Фильтр органопоглотитель обеспечивает очистку воды от следов органических соединений.

Финишное обессоливание. Очищенная вода подается на фильтры смешанного действия, где происходит освобождение воды от остаточных примесей и увеличение сопротивления до 18 МОм·см. Деионизованная вода марки А проходит финишную фильтрацию на  патронных мембранных фильтрах и подается потребителю. 

Монтаж и сервис

Монтаж

Пусконаладка

Гарантия и сервис
  • установка контейнера на фундамент;
  • подключение трубопроводов;
  • подвод кабелей электропитания;
  • подключение средств автоматизации.
  • шеф-монтаж и пусконаладка;
  • индивидуальные комплексные испытания оборудования с выходом на рабочий режим;
  • поверка средств измерения;
  • обучение персонала.
  • Гарантия 18 месяцев.
  • Расширенная гарантия 60 месяцев.
  • Экстренный выезд сервис-инженера в течение 1 суток.
  • Плановое техническое обслуживание: проверка состояния, регулировка, ревизия узлов, замена быстроизнашиваемых деталей.